掃描電鏡基本介紹

在當代迅速發(fā)展的科學技術中，科學家需要觀察、分析和正確的解釋在一個微米（um）或亞微米范圍內的所有現(xiàn)象，掃描電鏡是強有力的工具。

掃描電鏡是以能力為1~30KV間的電子束，以光柵狀掃描方式照射到被分析試樣的表面上，利用入射電子和試驗表面物質相互作用所產生的二次電子和背散射電子成像，獲得試驗表面微觀組織結構和形貌信息。

性能：

l 有較高的分辨率：5nm

l 有較高的放大倍數(shù)幾倍到6萬倍之間連續(xù)可調

l 有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試驗凹凸不平表面的細微結構

l 試驗制備簡單，使用方便

典型應用

l 植物學：應用掃描電鏡對植物次生木質部微觀結構的觀察，可以發(fā)現(xiàn)紋空上附物的有無以及附物的大小、形狀和分布等可作為植物系統(tǒng)演化的依據(jù)。

l 動物學：應用掃描電鏡技術研究動物的超微形態(tài)結構，對其分類學、生理學病理學等基礎學科以及資料利用、動植物蟲害防治等具有重要意義。

l 醫(yī)學：從基礎研究發(fā)展到疾病模型、培養(yǎng)細胞或組織監(jiān)督、傷情診斷、藥理作用與效果觀察、疑難病癥的電鏡診斷。

l 材料學：在材料檢驗、材料工藝、失效分析、新材料研制等方面具有廣泛的應用

l 半導體、集成電路質量監(jiān)控與工藝診斷

l 汽車表面涂層、氧化鋼粉末